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Press Release

아스타, 반도체 공정용 검사장치 개발 착수

작성자
admin
작성일
2020-09-17 12:49
조회
72
관련링크 https://news.mt.co.kr/mtview.php?no=2020070210244373604

 

아스타, 반도체 공정용 검사장치 개발 착수
머니투데이 한정수 기자

의료진단기기 전문기업 아스타는 지난 1일 경기도 산하 차세대융합기술연구원이 공모하는 '소재, 부품, 장비산업 자립화 연구지원 사업'에 선정돼 협약을 체결했다고 2일 밝혔다.

이번 선정으로 아스타는 경기도 지원금 10억원을 포함해 총 13억여원의 사업비로 내년까지 고속 잔류가스 분석기(RGA, Residual Gas Analyzer)를 개발해 제품화를 완료할 계획이다. 아스타가 보유한 TOF(Time of Flight) 질량분석 기술을 RGA에 적용해 고속 분석시스템을 개발하는 것이다. 아스타가 주관기업, 원광대와 한국기초과학지원연구원이 참여기관으로 선정돼 반도체 업체에서 요구하는 제품을 공급할 방침이다.

통상 반도체 제조공정은 산소, 수분, 탄화수소 등 불순물 기체를 엄격히 통제하기 위해 잔류가스의 조성분석 및 진공도를 측정해 관리한다. 잔류가스 검사 장치(RGA)는 반도체 공정에서 일어나는 반응기체 및 잔류기체 변화를 모니터링하고 불순물을 감지하는 필수적 장비다. 현재는 전량 수입에 의존하고 있다.

기존 RGA는 사중극자 질량필터 방식으로 모니터링 속도가 20∼30초 정도다. 그러나 최근 반도체 산업 내 경쟁이 심해지면서 미량가스를 보다 신속하고 정확하게 모니터링할 수 있는 장비에 대한 수요가 늘어나고 있다.

현재 해외 고사양 장비 가격은 3억∼5억원대의 고가이며 기술 지원 등에도 제약이 많아 산업체에서는 보급형 가격대와 반도체 생산라인에서 상시 기술지원이 가능한 제품이 절실한 것으로 알려졌다.

아스타 관계자는 "회사가 보유한 소형 TOF-MS(Time-of-flight Mass Spectrometer) 기술을 활용해 반도체 및 OLED(유기발광다이오드) 디스플레이 생산 공정상 발생하는 잔류가스를 기존보다 최대 20배 빠르게 모니터링할 수 있는 제품을 개발하는 것이 목표"라고 설명했다

이어 "아스타는 경쟁사 대비 30∼40% 가격의 보급형 제품을 출시해 뛰어난 가격 경쟁력과 우수한 품질로 수입을 대체할 뿐 아니라 세계 수출 시장의 문을 두드릴 것"이라고 밝혔다.

한편 올해 RGA 장비의 세계 시장 규모는 약 3만대로 파악됐다. 반도체 시장의 규모가 커지면서 이중 10%인 3000대쯤이 하이엔드(High-End) 고가 시장인 것으로 추정된다.

업계에 따르면 RGA 장비는 초정밀 생산공정 뿐 아니라 화학사고에 대한 신속 대응, 폭발물 탐지, 제한물질 남용 모니터링, 산업현장 오염가스 배출 모니터링 등 응용성이 있어 다양한 분야에서 시장성이 있다.

아스타 관계자는 "대한민국 R&D대상(국무총리상)의 기반 기술을 바탕으로 축적된 아스타의 최첨단 분석장비 개발, 생산기술은 본 RGA-TOF 과제를 통해 OLED 분석과 반도체 공정 잔류가스 분석 장비 시장에 성공적으로 진출하게 될 것"이라며 "이는 의료용 첨단 미생물, 암진단 장비 개발에 이어 산업용 최첨단 분석장비 개발, 생산기업으로 사업다각화를 이루게 되는 계기가 될 것"이라고 강조했다.

그러면서 "향후 아스타의 잔류가스 검사장치(RGA-TOF) 매출 규모가 회사 내 의료용 말디토프(MALDI-TOF) 매출 규모와 균형을 이룰 수 있을 것"이라고 덧붙였다.